無錫冠亞智能裝備有限公司
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冠亞恒溫制冷代表國際先進的液體溫度控制技術，積極探索和研究元件測試系統(tǒng)，主要用于醫(yī)藥化工、新能源、半導體、航空航天測試中的溫度測試模擬，具有寬的溫度方向和高溫升降，溫度范圍：-100°C~+90°C，控溫精度高達：±0.01℃，適用于各種測試要求。
產(chǎn)品有流體氟化液控溫（最低-100度)、支持多通道連續(xù)控溫。所有設備出廠前經(jīng)過100%氨檢測，100%安規(guī)檢測，確保系統(tǒng)安全可靠性。40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機熱氣加熱，Chiller循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設計、采用磁力驅(qū)動泵，擁有gao效的生產(chǎn)穩(wěn)定性和可重復性結果，滿足復雜控溫需求，支持非標定制。
單通道系列chiller
半導體溫控裝置Chiller 主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，控溫范圍：-100℃～+90℃；控溫精度：±0.01℃。公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行quan面管理監(jiān)控記錄。
FLTZ? 5℃~+40℃
| 型號 | FLTZ-001 FLTZ-001W |
FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 溫度范圍 | 5℃～40℃(可擴展到90℃) | |||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | |||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | ||||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | |||||||
| 制冷量@20℃ | 2.5kW | 6kW | 9kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 38kW |
| 加熱能力 | 0.5kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
FLTZ? -25℃~+90℃
| 型號 | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 溫度范圍 | -25℃～90℃ | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@-15℃ | 1kW | 2kW | 2.5kW | 4kW | 6kW | 8kW | 12kW |
| 制冷量@-20℃ | 0.8kW | 1.5kW | 2kW | 3.5kW | 5kW | 6.5kW | 10kW |
| 加熱能力 | 1.5kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
FLTZ? -40℃~+90℃
| 型號 | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | -40℃～90℃ | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@-10℃ | 1.5kW | 3kW | 3.2kW | 5kW | 7kW | 9kW | 13kW |
| 制冷量@-30℃ | 0.6kW | 1kW | 1.3kW | 2kW | 2.8kW | 4kW | 5.5kW |
| 加熱能力 | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
FLTZ? -80℃~+50℃
| 型號 | FLTZ-803 FLTZ-803W |
FLTZ-805 FLTZ-805W |
FLTZ-806 FLTZ-806W |
FLTZ-808W | FLTZ-8010W | FLTZ-8015W | FLTZ-8025W |
| 溫度范圍 | -80℃～50℃(可擴展到100℃) | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@25℃ | 3kW | 4.5kW | 5kW | 6.5kW | 9kW | 14kW | 25kW |
| 制冷量@-55℃ | 1kW | 2.5kW | 2.8kW | 3.2kW | 4.8kW | 7.5kW | 10.2kW |
| 制冷量@-70℃ | 0.6kW | 1.2kW | 1.5kW | 2kW | 2.8kW | 5.5kW | 8kW |
| 加熱能力 | 1.5kW | 2.5kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW | 11kW |
FLTZ? -100℃~+90℃
| 型號 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W | FLTZ-1006W |
| 溫度范圍 | -100℃～90℃（(可擴展到100℃)） | ||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||
| 制冷量@-90℃ | 1.5kW | 3kW | 6kW |
| 加熱能力 | 3.5kW | 5.5kW | 15kW |
所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
多通道系列chiller
多通道獨?控溫，可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能?、導熱介質(zhì)流量等，采?獨?的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷，或者采?ETCU?壓縮機換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻?系統(tǒng)等，可以有效減少設備尺?，減少操作步驟。
FLTZ -20℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-D-202W | FLTZ-D-203W | FLTZ-D-B003B203W | |||
| 通道系數(shù) | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 |
| 介質(zhì)溫度范圍 | ?-20~＋90℃ | ?-20~＋90℃ | -20~＋90℃ | ?-20~＋90℃ | ?-20~＋90℃ | ?-20~＋90℃ |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | PLC控制器 | PLC控制器 | |||
| 控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | |||||
| 負載溫度控制模式（通信） | ||||||
| 出口溫度控制精度 | ±0.1℃ | |||||
| 冷卻能力 | 1kW@-20℃ | 1kW@-20℃ | 2.5kW@-15℃ | 2.5kW@-15℃ | 4kW@-15℃ | 20kW@冷卻水溫度+10℃ |
| 4kW@10℃ | 4kW@10℃ | 6kW@10℃ | 6kW@10℃ | 10kW@10℃ | ||
| 加熱能力 | 1.6kW | 1.6kW | 5.5kW | 5.5kW | 2kW | 5.5kW |
FLTZ -40℃～+160℃
| 型號 | FLTZ-T-B203B205A1W | FLTZ-T-B440A2A2W | FLTZ-T-B210A1C1W | ||||||
| 通道系數(shù) | CH1 | CH2 | CH3 | CH1 | CH2 | CH3 | CH1 | CH2 | CH3 |
| 介質(zhì)溫度范圍 | ?-10~＋60℃ | 30~＋80℃ | ?-10~＋80℃ | ?-40℃~+50℃ | 30℃~+120℃ | 30℃~+50℃ | ?-25℃~+90℃ | 30℃~+90℃ | 25℃~+160℃ |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | PLC控制器 | PLC控制器 | ||||||
| 控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | ||||||||
| 負載溫度控制模式（通信） | |||||||||
| 出口溫度控制精度 | ±0.1℃ | ||||||||
| 冷卻能力 | 4kW@-10℃ | 6kW@冷卻水溫度+10℃ | 3kW@-10℃ | 20kW@-30℃ | 20kW@50℃ | 25kW@35℃ | 10kW@-10℃ | 10kW@30℃ | 4kW@100℃ |
| 16kW@20℃ | 10kW@20℃ | ||||||||
| 加熱能力 | 5.5kW | 5.5kW | 4kW | 5.5kW | 15kW | 5.5kW | 2kW | 7.5kW | 7.5kW |
所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
變頻環(huán)保系列chiller
高效節(jié)能：變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)用戶冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。
快速制冷：變頻機組采用先進的變頻技術，精確控制壓縮和風機運行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。
超低噪音：變頻機組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機，大大降低回旋不平衡度，使機組的振動非常小，約為常規(guī)壓縮機的1/2，結合多重降噪措施，極度安靜。
單通道 +10℃～+25℃
| 產(chǎn)品型號 | FLTRZ-001W | FLTRZ-003W | FLTRZ-006W | FLTRZ-011W | |
| FLTRZ-001 | FLTRZ-003 | FLTRZ-006 | FLTRZ-011 | ||
| 介質(zhì)溫度范圍 | +10℃?+25℃ | ||||
| 導熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機 | 壓縮機(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 制冷量AT 10℃ | 3kW | 7kW | 13kW | 25kW | |
單通道 +10℃～+25℃
| 產(chǎn)品型號 | FLTRZ-001WS | FLTRZ-003WS | FLTRZ-006WS | FLTRZ-011WS | |
| FLTRZ-001S | FLTRZ-003S | FLTRZ-006S | FLTRZ-011S | ||
| 介質(zhì)溫度范圍 | +10℃?+25℃ | ||||
| 導熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | ||||
| 壓縮機 | 壓縮機(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 制冷量AT 10℃ | 3kW | 7kW | 13kW | 25kW | |
單通道 -25℃～+90℃
| 產(chǎn)品型號 | FLTRZ-201W | FLTRZ-203W | FLTRZ-206W | FLTRZ-211W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -25℃?90℃ | ||||
| 導熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機 | 壓縮機(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
單通道 -40℃～+90℃
| 產(chǎn)品型號 | FLTRZ-401W | FLTRZ-403W | FLTRZ-406W | FLTRZ-411W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -40℃?90℃ | ||||
| 導熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機 | 壓縮機(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
單通道 -70℃～+90℃
| 產(chǎn)品型號 | FLTRZ-801W | FLTRZ-803W | FLTRZ-806W | FLTRZ-811W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -70℃?90℃ | ||||
| 導熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機 | 壓縮機(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
雙通道 -25℃～+90℃
| 型號 | FLTRZ-D-D3D3W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | |
| 溫度范圍 | -25℃?+90℃ | -25℃?+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | |
| 制冷量AT -10℃ | 5.2kW | 5.2kW | |
| 制冷量AT -20℃ | 3.4kW | 3.4kW | |
雙通道 -40℃～+90℃
| 型號 | FLTRZ-D-E6E6W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | |
| 溫度范圍 | -40℃?+90℃ | -40℃?+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | |
| 制冷量AT -15℃ | 6.8kW | 6.8kW | |
| 制冷量AT -35℃ | 2.2kW | 2.2kW | |
所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
高溫系列chiller
CHILLER高溫系列主要應用與薄膜沉積領域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫熱量的工藝制程，滿足半導體高溫測試需求。
核心優(yōu)勢:
1、高溫范圍寬:出口溫度最高可達300°C。
2、控溫精準:采用智能算法，實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應、控制精度士0.1°C(可選配土0.01°C)，具有良好的溫度跟隨性。
3、節(jié)約能耗:變頻自適應調(diào)節(jié)、軟啟動等技術，實現(xiàn)系統(tǒng)的高效節(jié)能。4、氟化液損耗小:特殊的密封和循環(huán)設計，降低高溫下導致的氟化液揮發(fā)損耗。
5、潔凈度高:內(nèi)部管道酸洗鈍化潔凈度高，不含雜質(zhì)離子，對工藝制程不會產(chǎn)生任何污染。
雙通道高溫系列 50℃～+220℃
| 型號 | FLTZH-2W-2T | FLTZH-5W-2T | FLTZH-10W-2T | FLTZH-5W-2T-HV | |||||
| 介質(zhì)溫度范圍 | 50℃～+220℃ | 50℃～+220℃ | 50℃～+220℃ | 50℃～+300℃ | |||||
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | ||||||||
| 溫控點控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | ||||||||
| CHUCK溫度控制模式（通信） | |||||||||
| 溫差控制 | 可設定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | ||||||||
| 通信協(xié)議 | MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口 | ||||||||
| 外接入溫度反饋 | 通過通信 | ||||||||
| 介質(zhì)出口溫控精度 | ±0.1℃ | ||||||||
| CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ||||||||
單通道高溫系列 50℃～+220℃
| 型號 | FLTZH-5W | FLTZH-10W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | 50℃～+220℃ | 50℃～+220℃ | |
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器 | PLC控制器 | |
| 溫控點控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | |
| CHUCK本體溫度控制模式（通信） | CHUCK本體溫度控制模式（通信） | ||
| 溫差控制 | 可設定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | 可設定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | |
| 通信協(xié)議 | MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口 | MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口 | |
| 外接入溫度反饋 | 通過通信 | 通過通信 | |
| 介質(zhì)出口溫控精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
| CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | |
高精度常溫chiller
本設備的研發(fā)?的是開發(fā)?種專?高溫控溫的Chiller，用來滿足半導體?溫測試需求。
創(chuàng)新點：介質(zhì)溫度最高可達250℃；以特殊的?藝方式，保證系統(tǒng)高溫?況下的控溫精度。
| 型號 | FLS-001S FLS-001WS |
FLS-002S FLS-002WS |
FLS-003S FLS-003WS |
FLS-004S FLS-004WS |
FLS-006S FLS-006WS |
FLS-008S FLS-008WS |
FLS-010S FLS-010WS |
| 溫度范圍 | 15℃～25℃ | ||||||
| 控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 | ||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@20℃ | 2.5kW | 6kW | 9kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液、乙二醇水溶液、純凈水,DI水等 | ||||||
面板chiller
應用：該系列產(chǎn)品目前主要應用于面板制程中的薄膜沉積和刻蝕、OLED真空鍍膜、Micro-LED熱量轉(zhuǎn)移、激光加工等等環(huán)節(jié)。
核心優(yōu)勢:
穩(wěn)定運行:精確匹配行業(yè)需求，集成多種安全防護功能，保障面板工藝制程穩(wěn)定運行。
溫度范圍廣、控溫精準:-20°C~120°C，控溫精度最高達土0.01°C;高效節(jié)能:采用全變頻技術，結合壓縮機余熱回收，降低能耗20%;
氟化液損耗量少:閉式循環(huán)系統(tǒng)設計，減少氟化液高溫揮發(fā)。
設備體積小:多通道整合，更高效的空間利用;
| 型號 | FLTZ-B-P001W | FLTZ-B-D001W | FLTZ-B-T001W | ||||
| 通道類型 | 1-loop?independent | 2-loop?independent | 3-loop?independent | ||||
| 性能參數(shù) | 通道型號 | CH1 | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 | CH3 |
| 溫度范圍 | 25~30℃ | -20~90℃ | 常溫~90℃ | 10~90℃ | 10~90℃ | 10~90℃ | |
| 溫度控制精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
| 冷卻能力 | 21kW@25℃ | 35kW@5℃ | 30kW@PCW+10℃ | 7kW@10℃ | 3kW@10℃ | 8kW@10℃ | |
| 加熱能力 | 2kW | 4kW | 38kW | 2kW | 4kW | 6kW | |
| 循環(huán)液類型/電導率 | DI WATER @10~18MΩ·cm | 乙二醇水溶液 | 乙二醇水溶液 | 氟化液HT-170 | 氟化液HT-170 | 氟化液HT-170 | |
| 循環(huán)液流量壓力 | 80LPM@0.5MPa | 25LPM@0.4MPa | 25LPM@0.4MPa | 35LPM@0.5MPa | 35LPM@0.5MPa | 35LPM@0.5MPa | |
| 循環(huán)液接口 | Rc1 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | |
| PCW溫度 | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | |
| PCW流量 | 3.6m3/h | 6m3/h | 5.5m3/h | 3.5m3/h | |||
| PCW壓力 | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | |
| PCW接口 | Rc1 | Rc1?1/4 | Rc1 | ||||
| 型號 | FLTZ-B-F001W | ||||
| 通道類型 | 4-loop?independent | ||||
| 性能參數(shù) | 通道型號 | CH1 | CH2 | CH3 | CH4 |
| 溫度范圍 | -20~90℃ | -20~90℃ | 30~120℃ | 30~120℃ | |
| 溫度控制精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
| 冷卻能力 | 12kW@10℃ | 12kW@10℃ | 5kW@30℃ | 5kW@30℃ | |
| 加熱能力 | 6kW | 6kW | 20kW | 40kW | |
| 循環(huán)液類型/電導率 | 氟化液HT-135 | 氟化液HT-135 | 氟化液HT-170 | 氟化液HT-170 | |
| 循環(huán)液流量壓力 | 45LPM@0.5MPa | 45LPM@0.5MPa | 45LPM@0.5MPa | 50LPM@0.5MPa | |
| 循環(huán)液接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | |
| PCW溫度 | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | |
| PCW流量 | 1.5m3/h | 1.5m3/h | 2.3m3/h | 3.5m3/h | |
| PCW壓力 | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | |
| PCW接口 | Rc1?1/2 | ||||
超純水溫控chiller
應用
Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構成，通過兩個循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實現(xiàn)對目標設備的精準、穩(wěn)定溫度控制。
核心技術與優(yōu)勢:
1、潔凈度高:內(nèi)置過濾器能有效防止水垢生成，從源頭降低游離離子污染，保護冷卻系統(tǒng)核心部件，顯著提升運行效率;同時降低冷卻水電導率，防止電流泄漏，避免對精密電子元件或加工過程造成電化學干擾。
2、控溫精準:采用智能算法，實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應、控制精度士0.1°C(可選配士0.01°C)，具有良好的溫度跟隨性。
4、適用場景:該chiller可替代氟利昂清洗，廣泛適用于半導體晶圓、光伏電池、液晶面板及鋰電池生產(chǎn)中的溫純水精密清洗。
| 型號 | FLTZ-U-003W | FLTZ-U-D001W | FLTZ-U-D002W | FLTZ-U-D003W | ||||
| 通道類型 | 1-loop?independent | 2-loop?independent | 2-loop?independent | 2-loop?independent | ||||
| 性能參數(shù) | 通道型號 | CH1 | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 | CH1 | CH2 |
| 循環(huán)方式 | 沖洗型 | 循環(huán)型 | 循環(huán)型 | 循環(huán)型 | 沖洗型 | 循環(huán)型 | 沖洗型 | |
| 溫度范圍 | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | 15~40℃ | |
| 溫度控制精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
| 冷卻能力 | 9.4kW@20℃ | 0.6kW@20℃ | 0.6kW@20℃ | 1.5kW@20℃ | 6.3kW@20℃ | 3kW@20℃ | 6.2kW@20℃ | |
| 加熱能力 | 10kW | 0.6kW | 2kW | 1.5kW | 12.5kW | 3kW | 12.5kW | |
| 循環(huán)液類型/電阻率 | DI?WATER@10~18MΩ·cm | DI?WATER@10~18MΩ·cm | DI?WATER@10~18MΩ·cm | DI?WATER@10~18MΩ·cm | ||||
| 循環(huán)液流量壓力 | 45LPM@0.4MPa | 6LPM@0.45MPa | 10LPM@0.43MPa | 15LPM@0.45MPa | 25LPM@0.43MPa | 18LPM@0.45MPa | 30LPM@0.43MPa | |
| 循環(huán)液接口 | Rc3/4 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | |
| PCW溫度 | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | 18~22℃ | |
| PCW流量 | 2m3/h | 1.3m3/h | 1.3m3/h | 2m3/h | 2m3/h | 3.8m3/h | 3.8m3/h | |
| PCW壓力 | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | 2~6bar | |
| PCW接口 | Rc3/4 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 |
Rc3/4 |
Rc3/4 | |
帕爾貼chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業(yè)度身定制；
基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；
對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制，使得其能夠應用于所有類型的刻蝕工藝；
快速和精確的溫度控制，能夠滿足任何嚴苛的工藝要求；
TEC -20℃~90℃
| 型號 | TEC-1200 | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | |||
| 制冷能力 | 20℃ | 1200W | 2450W | 4500W |
| 10℃ | 900W | 1925W | 3500W | |
| 0℃ | 600W | 1400W | 2600W | |
| ?-10℃ | 350W | 875W | 1600W | |
| ?-20℃ | 80W | 350W | 700W | |
| 制熱能力 | ＞3000W | ＞6000W | ＞12000W | |
負壓循環(huán)溫控設備chiller
負壓型控溫系統(tǒng)通過負壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準溫度控制，原理：通過負壓發(fā)?器驅(qū)動導熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏風險，適用于各種類型板卡冷卻。
| 設備名稱 | 負壓循環(huán)溫控設備 | |||
| 設備型號 | ZLFQ-30 | ZLFQ-80 | ZLFQ-180 | |
| 額定換熱量 | 30kW | 80kW | 180kW | |
| 一次側 （介質(zhì)側） |
工作介質(zhì) | 介質(zhì)側純水、乙二醇水溶液等 | 介質(zhì)側純水、乙二醇水溶液等 | 介質(zhì)側純水、乙二醇水溶液等 |
| 額定流量 | 60LPM | 150LPM | 300LPM | |
| 儲液容積 | 60L | 120L | 180L | |
| 供回液溫度 | 25/35℃ | 25/35℃ | 25/35℃ | |
| 溫控精度 | ±0.3℃ | ±0.3℃ | ±0.3℃ | |
| 真空泵抽氣量 | 75m3/h | 130m3/h | 250m3/h | |
| 負壓壓頭 | 70KPA | 70KPA | 70KPA | |
| 泵浦配置 | 1+1冗余 | 1+1冗余 | 1+1冗余 | |
| 接口尺寸 | Rc1 | Rc1 1/4 | Rc2 | |
| 二次側 （冷卻側） |
冷卻介質(zhì) | PCW | PCW | PCW |
| 冷卻流量 | 2.5m3/h | 6m3/h | 15m3/h | |
| 過濾精度 | 50um | 50um | 50um | |
| 接口尺寸 | Rc3/4 | Rc1 | Rc2 | |
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