FLTZ-B面板系列Chiller

2025/07/23 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 327

面板系列Panel Chiller

應(yīng)用：
該系列產(chǎn)品目前主要應(yīng)用于面板制程中的薄膜沉積和刻蝕、OLED真空鍍膜、Micro-LED熱量轉(zhuǎn)移、激光加工等等環(huán)節(jié)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
穩(wěn)定運(yùn)行：精確匹配行業(yè)需求，集成多種安全防護(hù)功能，保障面板工藝制程穩(wěn)定運(yùn)行。
溫度范圍廣、控溫精準(zhǔn)：-20℃~120℃，控溫精度最高達(dá)±0.01℃；
高效節(jié)能：采用全變頻技術(shù)，結(jié)合壓縮機(jī)余熱回收，降低能耗20%；
氟化液損耗量少：閉式循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，減少氟化液高溫?fù)]發(fā)。
設(shè)備體積?。憾嗤ǖ勒希咝У目臻g利用；

產(chǎn)品介紹產(chǎn)品型號(hào)

???

適用范圍

型號(hào)		FLTZ-B-P001W	FLTZ-B-D001W		FLTZ-B-T001W
通道類型		1-loop?independent	2-loop?independent		3-loop?independent
性能參數(shù)	通道型號(hào)	CH1	CH1	CH2	CH1	CH2	CH3
	溫度范圍	25~30℃	-20~90℃	常溫~90℃	10~90℃	10~90℃	10~90℃
	溫度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷卻能力	21kW@25℃	35kW@5℃	30kW@PCW+10℃	7kW@10℃	3kW@10℃	8kW@10℃
	加熱能力	2kW	4kW	38kW	2kW	4kW	6kW
	循環(huán)液類型/電導(dǎo)率	DI WATER @10~18MΩ·cm	乙二醇水溶液	乙二醇水溶液	氟化液HT-170	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循環(huán)液流量壓力	80LPM@0.5MPa	25LPM@0.4MPa	25LPM@0.4MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa
	循環(huán)液接口	Rc1	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW溫度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	3.6m3/h	6m3/h	5.5m3/h	3.5m3/h
	PCW壓力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1	Rc1?1/4		Rc1
安全裝置	過(guò)載保護(hù)功能	壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過(guò)載保護(hù)
	電源保護(hù)功能	電源過(guò)電流、過(guò)欠壓、缺相等保護(hù)
	液位保護(hù)	低流量、低液位等保護(hù)
	安全聯(lián)鎖裝置	EMO+INTERLOCK
	上鎖掛牌裝置	LOTO裝置
	漏液檢測(cè)裝置	設(shè)備內(nèi)外部LEAK SENSON檢測(cè)
通訊類型	支持多種通訊協(xié)議	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等
安裝環(huán)境	環(huán)境溫度	10~40℃
安裝環(huán)境	環(huán)境濕度	30~70%RH
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035
電源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		60105135	78100190		85100180

型號(hào)		FLTZ-B-F001W
通道類型		4-loop?independent
性能參數(shù)	通道型號(hào)	CH1	CH2	CH3	CH4
	溫度范圍	-20~90℃	-20~90℃	30~120℃	30~120℃
	溫度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷卻能力	12kW@10℃	12kW@10℃	5kW@30℃	5kW@30℃
	加熱能力	6kW	6kW	20kW	40kW
	循環(huán)液類型/電導(dǎo)率	氟化液HT-135	氟化液HT-135	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循環(huán)液流量壓力	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	50LPM@0.5MPa
	循環(huán)液接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW溫度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	1.5m3/h	1.5m3/h	2.3m3/h	3.5m3/h
	PCW壓力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1?1/2
安全裝置	過(guò)載保護(hù)功能	壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過(guò)載保護(hù)
	電源保護(hù)功能	電源過(guò)電流、過(guò)欠壓、缺相等保護(hù)
	液位保護(hù)	低流量、低液位等保護(hù)
	安全聯(lián)鎖裝置	EMO+INTERLOCK
	上鎖掛牌裝置	LOTO裝置
	漏液檢測(cè)裝置	設(shè)備內(nèi)外部LEAK SENSON檢測(cè)
通訊類型	支持多種通訊協(xié)議	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等
安裝環(huán)境	環(huán)境溫度	10~40℃
安裝環(huán)境	環(huán)境濕度	30~70%RH
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035
電源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		120160185

1.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。

2.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開(kāi)式冷卻塔，必須增加過(guò)濾器。供水壓力1.5bar~4bar

型號(hào)		FLTZ-B-P001W	FLTZ-B-D001W		FLTZ-B-T001W
通道類型		1-loop?independent	2-loop?independent		3-loop?independent
性能參數(shù)	通道型號(hào)	CH1	CH1	CH2	CH1	CH2	CH3
	溫度范圍	25~30℃	-20~90℃	常溫~90℃	10~90℃	10~90℃	10~90℃
	溫度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷卻能力	21kW@25℃	35kW@5℃	30kW@PCW+10℃	7kW@10℃	3kW@10℃	8kW@10℃
	加熱能力	2kW	4kW	38kW	2kW	4kW	6kW
	循環(huán)液類型/電導(dǎo)率	DI WATER @10~18MΩ·cm	乙二醇水溶液	乙二醇水溶液	氟化液HT-170	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循環(huán)液流量壓力	80LPM@0.5MPa	25LPM@0.4MPa	25LPM@0.4MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa
	循環(huán)液接口	Rc1	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW溫度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	3.6m3/h	6m3/h	5.5m3/h	3.5m3/h
	PCW壓力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1	Rc1?1/4		Rc1
安全裝置	過(guò)載保護(hù)功能	壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過(guò)載保護(hù)
	電源保護(hù)功能	電源過(guò)電流、過(guò)欠壓、缺相等保護(hù)
	液位保護(hù)	低流量、低液位等保護(hù)
	安全聯(lián)鎖裝置	EMO+INTERLOCK
	上鎖掛牌裝置	LOTO裝置
	漏液檢測(cè)裝置	設(shè)備內(nèi)外部LEAK SENSON檢測(cè)
通訊類型	支持多種通訊協(xié)議	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等
安裝環(huán)境	環(huán)境溫度	10~40℃
安裝環(huán)境	環(huán)境濕度	30~70%RH
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035
電源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		60105135	78100190		85100180

型號(hào)		FLTZ-B-F001W
通道類型		4-loop?independent
性能參數(shù)	通道型號(hào)	CH1	CH2	CH3	CH4
	溫度范圍	-20~90℃	-20~90℃	30~120℃	30~120℃
	溫度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷卻能力	12kW@10℃	12kW@10℃	5kW@30℃	5kW@30℃
	加熱能力	6kW	6kW	20kW	40kW
	循環(huán)液類型/電導(dǎo)率	氟化液HT-135	氟化液HT-135	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循環(huán)液流量壓力	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	50LPM@0.5MPa
	循環(huán)液接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW溫度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	1.5m3/h	1.5m3/h	2.3m3/h	3.5m3/h
	PCW壓力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1?1/2
安全裝置	過(guò)載保護(hù)功能	壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過(guò)載保護(hù)
	電源保護(hù)功能	電源過(guò)電流、過(guò)欠壓、缺相等保護(hù)
	液位保護(hù)	低流量、低液位等保護(hù)
	安全聯(lián)鎖裝置	EMO+INTERLOCK
	上鎖掛牌裝置	LOTO裝置
	漏液檢測(cè)裝置	設(shè)備內(nèi)外部LEAK SENSON檢測(cè)
通訊類型	支持多種通訊協(xié)議	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等
安裝環(huán)境	環(huán)境溫度	10~40℃
安裝環(huán)境	環(huán)境濕度	30~70%RH
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035
電源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		120160185

1.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。

2.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開(kāi)式冷卻塔，必須增加過(guò)濾器。供水壓力1.5bar~4bar

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