Chiller換熱型 系統(tǒng)無(wú)壓縮機(jī)

原理：CHILLER 是通過(guò)換熱器，將廠務(wù)水與載冷介質(zhì)進(jìn)行換熱，循環(huán)泵驅(qū)動(dòng)載冷介質(zhì)循環(huán)，并且同時(shí)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控溫功能，適用于光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)等領(lǐng)域加熱冷卻。
核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：

1.加熱冷卻一體化設(shè)備：設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，應(yīng)用換熱器即可實(shí)現(xiàn)連續(xù)升降溫，5-90℃溫度范圍快速加熱冷卻。
2.精準(zhǔn)控溫：采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.05℃，適用于精密制造場(chǎng)景。
3.多場(chǎng)景適配：支持純水、乙二醇、導(dǎo)熱油等不同介質(zhì)使用。