FLS常溫高精度系列chiller

2024/11/22 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 837

原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。

產(chǎn)品詳情詳細(xì)參數(shù)

核心技術(shù)與優(yōu)勢：
1.高精度控溫：
采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。
2.多場景適配：
支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。

型號(hào)	FLS-001S FLS-001WS	FLS-002S FLS-002WS	FLS-003S FLS-003WS	FLS-004S FLS-004WS	FLS-006S FLS-006WS	FLS-008S FLS-008WS	FLS-010S FLS-010WS
溫度范圍	15℃～25℃
控制模式	本體出液口溫控控制模式
控制模式	工件負(fù)載溫度控制（選配）
出口控溫精度	±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
工藝工程溫度控制	可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
制冷量@20℃	2.5kW	6kW	9kW	10kW	15kW	20kW	25kW
介質(zhì)類型	氟化液、乙二醇水溶液、純凈水,DI水等
介質(zhì)流量壓力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介質(zhì)接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	0.6m3/h@23℃	1.1m3/h@23℃	1.6m3/h@23℃	2.2m3/h@23℃	3.3m3/h@23℃	4.4m3/h@23℃	5.5m3/h@23℃
冷卻水接口	Rc3/8	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1
膨脹罐容積	10L	10L	10L	15L	15L	20L	25L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM
流量顯示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色觸摸屏
安全防護(hù)	具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏液報(bào)警進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù)
通訊類型	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	220?VAC?±?10%，單相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)/380?VAC?±?10%，三相(可定制)			380?VAC?±?10%，三相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率（MAX）	2kW	3.5kW	4.5kW	5kW	7kW	10.5kW	12.5kW
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	4080100	4080115	5095130	5095130	50100140	80100165	90110165
非標(biāo)定制	帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI認(rèn)證

1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。

2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊有更新恕不另行通知，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。

3.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。

4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar

型號(hào)	FLS-001S FLS-001WS	FLS-002S FLS-002WS	FLS-003S FLS-003WS	FLS-004S FLS-004WS	FLS-006S FLS-006WS	FLS-008S FLS-008WS	FLS-010S FLS-010WS
溫度范圍	15℃～25℃
控制模式	本體出液口溫控控制模式
控制模式	工件負(fù)載溫度控制（選配）
出口控溫精度	±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
工藝工程溫度控制	可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
制冷量@20℃	2.5kW	6kW	9kW	10kW	15kW	20kW	25kW
介質(zhì)類型	氟化液、乙二醇水溶液、純凈水,DI水等
介質(zhì)流量壓力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介質(zhì)接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	0.6m3/h@23℃	1.1m3/h@23℃	1.6m3/h@23℃	2.2m3/h@23℃	3.3m3/h@23℃	4.4m3/h@23℃	5.5m3/h@23℃
冷卻水接口	Rc3/8	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1
膨脹罐容積	10L	10L	10L	15L	15L	20L	25L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM
流量顯示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色觸摸屏
安全防護(hù)	具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏液報(bào)警進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù)
通訊類型	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	220?VAC?±?10%，單相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)/380?VAC?±?10%，三相(可定制)			380?VAC?±?10%，三相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率（MAX）	2kW	3.5kW	4.5kW	5kW	7kW	10.5kW	12.5kW
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	4080100	4080115	5095130	5095130	50100140	80100165	90110165
非標(biāo)定制	帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI認(rèn)證

1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。

2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊有更新恕不另行通知，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。

3.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。

4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar

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