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          Chiller高精度冷熱循環(huán)器

          Chiller高精度冷熱循環(huán)器

          冠亞恒溫制冷代表國(guó)際先進(jìn)的液體溫度控制技術(shù),積極探索和研究元件測(cè)試系統(tǒng),主要用于醫(yī)藥化工、新能源、半導(dǎo)體、航空航天測(cè)試中的溫度測(cè)試模擬,具有寬的溫度方向和高溫升降,溫度范圍:-100°C~+90°C,控溫精度高達(dá):±0.01℃,適用于各種測(cè)試要求。

          產(chǎn)品有流體氟化液控溫(最低-100度)、支持多通道連續(xù)控溫。所有設(shè)備出廠前經(jīng)過(guò)100%氨檢測(cè),100%安規(guī)檢測(cè),確保系統(tǒng)安全可靠性。40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱,Chiller循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、采用磁力驅(qū)動(dòng)泵,擁有g(shù)ao效的生產(chǎn)穩(wěn)定性和可重復(fù)性結(jié)果,滿足復(fù)雜控溫需求,支持非標(biāo)定制。


          單通道系列chiller

          半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制,控溫范圍:-100℃~+90℃;控溫精度:±0.01℃。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無(wú)模型自建樹(shù)算法),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

          chiller 的排吸氣溫度(壓力)、冷凝溫度、冷卻水溫度(壓力)、進(jìn)出液體(氣體)溫度(壓力)、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過(guò)傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行quan面管理監(jiān)控記錄。

          FLTZ? 5℃~+40℃

          型號(hào) FLTZ-001
          FLTZ-001W
          FLTZ-002
          FLTZ-002W
          FLTZ-003
          FLTZ-003W
          FLTZ-004
          FLTZ-004W
          FLTZ-006
          FLTZ-006W
          FLTZ-008
          FLTZ-008W
          FLTZ-010
          FLTZ-010W
          FLTZ-015
          FLTZ-015W
          溫度范圍 5℃~40℃(可擴(kuò)展到90℃)
          控制模式 循環(huán)液出口溫度控制
          工件負(fù)載溫度控制(選配)
          出口控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
          工藝工程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹(shù)算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫)
          制冷量@20℃ 2.5kW 6kW 9kW 10kW 15kW 20kW 25kW 38kW
          加熱能力 0.5kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW

          FLTZ? -25℃~+90℃

          型號(hào) FLTZ-202
          FLTZ-202W
          FLTZ-203
          FLTZ-203W
          FLTZ-204
          FLTZ-204W
          FLTZ-206
          FLTZ-206W
          FLTZ-208
          FLTZ-208W
          FLTZ-210
          FLTZ-210W
          FLTZ-215
          FLTZ-215W
          溫度范圍 -25℃~90℃
          控制模式 循環(huán)液出口溫度控制
          工件負(fù)載溫度控制(選配)
          出口控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
          工藝工程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹(shù)算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫)
          制冷量@-15℃ 1kW 2kW 2.5kW 4kW 6kW 8kW 12kW
          制冷量@-20℃ 0.8kW 1.5kW 2kW 3.5kW 5kW 6.5kW 10kW
          加熱能力 1.5kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW

          FLTZ? -40℃~+90℃

          型號(hào) FLTZ-402
          FLTZ-402W
          FLTZ-403
          FLTZ-403W
          FLTZ-404
          FLTZ-404W
          FLTZ-406
          FLTZ-406W
          FLTZ-408
          FLTZ-408W
          FLTZ-410
          FLTZ-410W
          FLTZ-415
          FLTZ-415W
          溫度范圍 -40℃~90℃
          控制模式 循環(huán)液出口溫度控制
          工件負(fù)載溫度控制(選配)
          出口控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
          工藝工程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹(shù)算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫)
          制冷量@-10℃ 1.5kW 3kW 3.2kW 5kW 7kW 9kW 13kW
          制冷量@-30℃ 0.6kW 1kW 1.3kW 2kW 2.8kW 4kW 5.5kW
          加熱能力 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW

          FLTZ? -80℃~+50℃

          型號(hào) FLTZ-803
          FLTZ-803W
          FLTZ-805
          FLTZ-805W
          FLTZ-806
          FLTZ-806W
          FLTZ-808W FLTZ-8010W FLTZ-8015W FLTZ-8025W
          溫度范圍 -80℃~50℃(可擴(kuò)展到100℃)
          控制模式 循環(huán)液出口溫度控制
          工件負(fù)載溫度控制(選配)
          出口控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
          工藝工程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹(shù)算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫)
          制冷量@25℃ 3kW 4.5kW 5kW 6.5kW 9kW 14kW 25kW
          制冷量@-55℃ 1kW 2.5kW 2.8kW 3.2kW 4.8kW 7.5kW 10.2kW
          制冷量@-70℃ 0.6kW 1.2kW 1.5kW 2kW 2.8kW 5.5kW 8kW
          加熱能力 1.5kW 2.5kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW 11kW

          FLTZ? -100℃~+90℃

          型號(hào) FLTZ-1002W FLTZ-1004W FLTZ-1006W
          溫度范圍 -100℃~90℃((可擴(kuò)展到100℃))
          控制模式 循環(huán)液出口溫度控制
          工件負(fù)載溫度控制(選配)
          出口控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
          工藝工程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹(shù)算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫)
          制冷量@-90℃ 1.5kW 3kW 6kW
          加熱能力 3.5kW 5.5kW 15kW

          所有設(shè)備額定測(cè)試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


          多通道系列chiller

          多通道獨(dú)?控溫,可以具備單獨(dú)的溫度范圍、冷卻加熱能?、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等,采?獨(dú)?的兩套系統(tǒng),根據(jù)所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷,或者采?ETCU?壓縮機(jī)換熱系統(tǒng),系統(tǒng)可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻?系統(tǒng)等,可以有效減少設(shè)備尺?,減少操作步驟。

          FLTZ -20℃~+90℃

          型號(hào) FLTZ-D-202W FLTZ-D-203W FLTZ-D-B003B203W
          通道系數(shù) CH1 CH2 CH1 CH2 CH1 CH2
          介質(zhì)溫度范圍 ?-20~+90℃ ?-20~+90℃ -20~+90℃ ?-20~+90℃ ?-20~+90℃ ?-20~+90℃
          控制系統(tǒng) PLC控制器 PLC控制器 PLC控制器
          控制模式 本體出液口溫控控制模式
          負(fù)載溫度控制模式(通信)
          出口溫度控制精度 ±0.1℃
          冷卻能力 1kW@-20℃ 1kW@-20℃ 2.5kW@-15℃ 2.5kW@-15℃ 4kW@-15℃ 20kW@冷卻水溫度+10℃
          4kW@10℃ 4kW@10℃ 6kW@10℃ 6kW@10℃ 10kW@10℃
          加熱能力 1.6kW 1.6kW 5.5kW 5.5kW 2kW 5.5kW

          FLTZ -40℃~+160℃

          型號(hào) FLTZ-T-B203B205A1W FLTZ-T-B440A2A2W FLTZ-T-B210A1C1W
          通道系數(shù) CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3
          介質(zhì)溫度范圍 ?-10~+60℃ 30~+80℃ ?-10~+80℃ ?-40℃~+50℃ 30℃~+120℃ 30℃~+50℃ ?-25℃~+90℃ 30℃~+90℃ 25℃~+160℃
          控制系統(tǒng) PLC控制器 PLC控制器 PLC控制器
          控制模式 本體出液口溫控控制模式
          負(fù)載溫度控制模式(通信)
          出口溫度控制精度 ±0.1℃
          冷卻能力 4kW@-10℃ 6kW@冷卻水溫度+10℃ 3kW@-10℃ 20kW@-30℃ 20kW@50℃ 25kW@35℃ 10kW@-10℃ 10kW@30℃ 4kW@100℃
          16kW@20℃ 10kW@20℃
          加熱能力 5.5kW 5.5kW 4kW 5.5kW 15kW 5.5kW 2kW 7.5kW 7.5kW

          所有設(shè)備額定測(cè)試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


           

          變頻二氧化碳chiller

          高效節(jié)能:變頻壓縮機(jī)組通過(guò)內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)行轉(zhuǎn)速,從而避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對(duì)抗,保持機(jī)組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。
          快速制冷:變頻機(jī)組采用先進(jìn)的變頻技術(shù),精確控制壓縮和風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速,通過(guò)電子膨脹閥智能調(diào)節(jié),快速制冷。

          超低噪音:變頻機(jī)組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機(jī),大大降低回旋不平衡度,使機(jī)組的振動(dòng)非常小,約為常規(guī)壓縮機(jī)的1/2,結(jié)合多重降噪措施,極度安靜。

           

          單通道 +10℃~+25℃

          產(chǎn)品型號(hào) FLTRZ-001W FLTRZ-003W FLTRZ-006W FLTRZ-011W
          FLTRZ-001 FLTRZ-003 FLTRZ-006 FLTRZ-011
          介質(zhì)溫度范圍 +10℃?+25℃
          導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃)
          壓縮機(jī) 壓縮機(jī)(變頻控制)
          節(jié)流方式 電子膨脹閥
          制冷量AT 10℃ 3kW 7kW 13kW 25kW

          單通道 +10℃~+25℃

          產(chǎn)品型號(hào) FLTRZ-001WS FLTRZ-003WS FLTRZ-006WS FLTRZ-011WS
          FLTRZ-001S FLTRZ-003S FLTRZ-006S FLTRZ-011S
          介質(zhì)溫度范圍 +10℃?+25℃
          導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.005℃(出口溫度穩(wěn)態(tài))
          壓縮機(jī) 壓縮機(jī)(變頻控制)
          節(jié)流方式 電子膨脹閥
          制冷量AT 10℃ 3kW 7kW 13kW 25kW

          單通道 -25℃~+90℃

          產(chǎn)品型號(hào) FLTRZ-201W FLTRZ-203W FLTRZ-206W FLTRZ-211W
          介質(zhì)溫度范圍 -25℃?90℃
          導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃)
          壓縮機(jī) 壓縮機(jī)(變頻控制)
          節(jié)流方式 電子膨脹閥
          流量 30~60L/min 60~120L/min

          所有設(shè)備額定測(cè)試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


          單通道 -40℃~+90℃

          產(chǎn)品型號(hào) FLTRZ-401W FLTRZ-403W FLTRZ-406W FLTRZ-411W
          介質(zhì)溫度范圍 -40℃?90℃
          導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃)
          壓縮機(jī) 壓縮機(jī)(變頻控制)
          節(jié)流方式 電子膨脹閥
          流量 30~60L/min 60~120L/min

          單通道 -70℃~+90℃

          產(chǎn)品型號(hào) FLTRZ-801W FLTRZ-803W FLTRZ-806W FLTRZ-811W
          介質(zhì)溫度范圍 -70℃?90℃
          導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃)
          壓縮機(jī) 壓縮機(jī)(變頻控制)
          節(jié)流方式 電子膨脹閥
          流量 30~60L/min 60~120L/min

          雙通道 -25℃~+90℃

          型號(hào) FLTRZ-D-D3D3W
          管道 通道1 通道2
          溫度范圍 -25℃?+90℃ -25℃?+90℃
          控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃) ±0.1℃(可定制±0.01℃)
          制冷量AT -10℃ 5.2kW 5.2kW
          制冷量AT -20℃ 3.4kW 3.4kW

          雙通道 -40℃~+90℃

          型號(hào) FLTRZ-D-E6E6W
          管道 通道1 通道2
          溫度范圍 -40℃?+90℃ -40℃?+90℃
          控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃) ±0.1℃(可定制±0.01℃)
          制冷量AT -15℃ 6.8kW 6.8kW
          制冷量AT -35℃ 2.2kW 2.2kW

          所有設(shè)備額定測(cè)試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


          高溫系列chiller

          CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域,適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥?,滿足半導(dǎo)體高溫測(cè)試需求。

          核心優(yōu)勢(shì):
          1、高溫范圍寬:出口溫度最高可達(dá)300°C。
          2、控溫精準(zhǔn):采用智能算法,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度士0.1°C(可選配土0.01°C),具有良好的溫度跟隨性。
          3、節(jié)約能耗:變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動(dòng)等技術(shù),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的高效節(jié)能。4、氟化液損耗小:特殊的密封和循環(huán)設(shè)計(jì),降低高溫下導(dǎo)致的氟化液揮發(fā)損耗。
          5、潔凈度高:內(nèi)部管道酸洗鈍化潔凈度高,不含雜質(zhì)離子,對(duì)工藝制程不會(huì)產(chǎn)生任何污染。

          雙通道高溫系列 50℃~+220℃

          型號(hào) FLTZH-2W-2T FLTZH-5W-2T FLTZH-10W-2T FLTZH-5W-2T-HV
          介質(zhì)溫度范圍 50℃~+220℃ 50℃~+220℃ 50℃~+220℃ 50℃~+300℃
          控制系統(tǒng) PLC控制器
          溫控點(diǎn)控制模式 本體出液口溫控控制模式
          CHUCK溫度控制模式(通信)
          溫差控制 可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差
          通信協(xié)議 MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口,以太網(wǎng)接口
          外接入溫度反饋 通過(guò)通信
          介質(zhì)出口溫控精度 ±0.1℃
          CHUCK溫控精度 ±0.5℃

          單通道高溫系列 50℃~+220℃

          型號(hào) FLTZH-5W FLTZH-10W
          介質(zhì)溫度范圍 50℃~+220℃ 50℃~+220℃
          控制系統(tǒng) PLC控制器 PLC控制器
          溫控點(diǎn)控制模式 本體出液口溫控控制模式 本體出液口溫控控制模式
          CHUCK本體溫度控制模式(通信) CHUCK本體溫度控制模式(通信)
          溫差控制 可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差 可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差
          通信協(xié)議 MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口,以太網(wǎng)接口 MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口,以太網(wǎng)接口
          外接入溫度反饋 通過(guò)通信 通過(guò)通信
          介質(zhì)出口溫控精度 ±0.1℃ ±0.1℃
          CHUCK溫控精度 ±0.5℃ ±0.5℃
          所有設(shè)備額定測(cè)試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。

          高精度常溫chiller

          本設(shè)備的研發(fā)?的是開(kāi)發(fā)?種專?高溫控溫的Chiller,用來(lái)滿足半導(dǎo)體?溫測(cè)試需求。

          創(chuàng)新點(diǎn):介質(zhì)溫度最高可達(dá)250℃;以特殊的?藝方式,保證系統(tǒng)高溫?況下的控溫精度。

          型號(hào) FLS-001S
          FLS-001WS
          FLS-002S
          FLS-002WS
          FLS-003S
          FLS-003WS
          FLS-004S
          FLS-004WS
          FLS-006S
          FLS-006WS
          FLS-008S
          FLS-008WS
          FLS-010S
          FLS-010WS
          溫度范圍 15℃~25℃
          控制模式 本體出液口溫控控制模式
          工件負(fù)載溫度控制(選配)
          出口控溫精度 ±0.005℃(出口溫度穩(wěn)態(tài))
          工藝工程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹(shù)算法和串級(jí)算法結(jié)合來(lái)控制工件目標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫)
          制冷量@20℃ 2.5kW 6kW 9kW 10kW 15kW 20kW 25kW
          介質(zhì)類型 氟化液、乙二醇水溶液、純凈水,DI水等

          面板chiller

          應(yīng)用:該系列產(chǎn)品目前主要應(yīng)用于面板制程中的薄膜沉積和刻蝕、OLED真空鍍膜、Micro-LED熱量轉(zhuǎn)移、激光加工等等環(huán)節(jié)。
          核心優(yōu)勢(shì):
          穩(wěn)定運(yùn)行:精確匹配行業(yè)需求,集成多種安全防護(hù)功能,保障面板工藝制程穩(wěn)定運(yùn)行。
          溫度范圍廣、控溫精準(zhǔn):-20°C~120°C,控溫精度最高達(dá)土0.01°C;高效節(jié)能:采用全變頻技術(shù),結(jié)合壓縮機(jī)余熱回收,降低能耗20%;

          氟化液損耗量少:閉式循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計(jì),減少氟化液高溫?fù)]發(fā)。

          設(shè)備體積小:多通道整合,更高效的空間利用;

          型號(hào) FLTZ-B-P001W FLTZ-B-D001W FLTZ-B-T001W
          通道類型 1-loop?independent 2-loop?independent 3-loop?independent
          性能參數(shù) 通道型號(hào) CH1 CH1 CH2 CH1 CH2 CH3
          溫度范圍 25~30℃ -20~90℃ 常溫~90℃ 10~90℃ 10~90℃ 10~90℃
          溫度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
          冷卻能力 21kW@25℃ 35kW@5℃ 30kW@PCW+10℃ 7kW@10℃ 3kW@10℃ 8kW@10℃
          加熱能力 2kW 4kW 38kW 2kW 4kW 6kW
          循環(huán)液類型/電導(dǎo)率 DI WATER @10~18MΩ·cm 乙二醇水溶液 乙二醇水溶液 氟化液HT-170 氟化液HT-170 氟化液HT-170
          循環(huán)液流量壓力 80LPM@0.5MPa 25LPM@0.4MPa 25LPM@0.4MPa 35LPM@0.5MPa 35LPM@0.5MPa 35LPM@0.5MPa
          循環(huán)液接口 Rc1 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
          PCW溫度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
          PCW流量 3.6m3/h 6m3/h 5.5m3/h 3.5m3/h
          PCW壓力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
          PCW接口 Rc1 Rc1?1/4 Rc1

           

          型號(hào) FLTZ-B-F001W
          通道類型 4-loop?independent
          性能參數(shù) 通道型號(hào) CH1 CH2 CH3 CH4
          溫度范圍 -20~90℃ -20~90℃ 30~120℃ 30~120℃
          溫度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
          冷卻能力 12kW@10℃ 12kW@10℃ 5kW@30℃ 5kW@30℃
          加熱能力 6kW 6kW 20kW 40kW
          循環(huán)液類型/電導(dǎo)率 氟化液HT-135 氟化液HT-135 氟化液HT-170 氟化液HT-170
          循環(huán)液流量壓力 45LPM@0.5MPa 45LPM@0.5MPa 45LPM@0.5MPa 50LPM@0.5MPa
          循環(huán)液接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
          PCW溫度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
          PCW流量 1.5m3/h 1.5m3/h 2.3m3/h 3.5m3/h
          PCW壓力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
          PCW接口 Rc1?1/2

          超純水溫控chiller

          應(yīng)用
          Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成,通過(guò)兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱,實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。
          核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì):
          1、潔凈度高:內(nèi)置過(guò)濾器能有效防止水垢生成,從源頭降低游離離子污染,保護(hù)冷卻系統(tǒng)核心部件,顯著提升運(yùn)行效率;同時(shí)降低冷卻水電導(dǎo)率,防止電流泄漏,避免對(duì)精密電子元件或加工過(guò)程造成電化學(xué)干擾。
          2、控溫精準(zhǔn):采用智能算法,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度士0.1°C(可選配士0.01°C),具有良好的溫度跟隨性。

          3、節(jié)約能耗:采用壓縮機(jī)、泵變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動(dòng)和余熱回收技術(shù),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的高效節(jié)能。
          4、適用場(chǎng)景:該chiller可替代氟利昂清洗,廣泛適用于半導(dǎo)體晶圓、光伏電池、液晶面板及鋰電池生產(chǎn)中的溫純水精密清洗。

          型號(hào) FLTZ-U-003W FLTZ-U-D001W FLTZ-U-D002W FLTZ-U-D003W
          通道類型 1-loop?independent 2-loop?independent 2-loop?independent 2-loop?independent
          性能參數(shù) 通道型號(hào) CH1 CH1 CH2 CH1 CH2 CH1 CH2
          循環(huán)方式 沖洗型 循環(huán)型 循環(huán)型 循環(huán)型 沖洗型 循環(huán)型 沖洗型
          溫度范圍 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃
          溫度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
          冷卻能力 9.4kW@20℃ 0.6kW@20℃ 0.6kW@20℃ 1.5kW@20℃ 6.3kW@20℃ 3kW@20℃ 6.2kW@20℃
          加熱能力 10kW 0.6kW 2kW 1.5kW 12.5kW 3kW 12.5kW
          循環(huán)液類型/電阻率 DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm
          循環(huán)液流量壓力 45LPM@0.4MPa 6LPM@0.45MPa 10LPM@0.43MPa 15LPM@0.45MPa 25LPM@0.43MPa 18LPM@0.45MPa 30LPM@0.43MPa
          循環(huán)液接口 Rc3/4 Rc3/8 Rc3/8 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4
          PCW溫度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
          PCW流量 2m3/h 1.3m3/h 1.3m3/h 2m3/h 2m3/h 3.8m3/h 3.8m3/h
          PCW壓力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
          PCW接口 Rc3/4 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2

          Rc3/4

          Rc3/4

          帕爾貼chiller

          冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制;
          基于經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理,帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制;
          對(duì)于靜電卡盤(pán)(ESC)動(dòng)態(tài)的溫度控制,使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝;
          快速和精確的溫度控制,能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求;

          TEC -20℃~90℃

          型號(hào) TEC-1200 TEC-2500W TEC-4500W
          溫度范圍 -20℃~90℃
          控溫精度 ±0.1℃
          制冷能力 20℃ 1200W 2450W 4500W
          10℃ 900W 1925W 3500W
          0℃ 600W 1400W 2600W
          ?-10℃ 350W 875W 1600W
          ?-20℃ 80W 350W 700W
          制熱能力 >3000W >6000W >12000W

          負(fù)壓循環(huán)溫控設(shè)備chiller

          負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過(guò)負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制,原理:通過(guò)負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動(dòng)導(dǎo)熱介質(zhì)(?/油)循環(huán),避免泄漏風(fēng)險(xiǎn),適用于各種類型板卡冷卻。

          設(shè)備名稱 負(fù)壓循環(huán)溫控設(shè)備
          設(shè)備型號(hào) ZLFQ-30 ZLFQ-80 ZLFQ-180
          額定換熱量 30kW 80kW 180kW
          一次側(cè)
          (介質(zhì)側(cè))
          工作介質(zhì) 介質(zhì)側(cè)純水、乙二醇水溶液等 介質(zhì)側(cè)純水、乙二醇水溶液等 介質(zhì)側(cè)純水、乙二醇水溶液等
          額定流量 60LPM 150LPM 300LPM
          儲(chǔ)液容積 60L 120L 180L
          供回液溫度 25/35℃ 25/35℃ 25/35℃
          溫控精度 ±0.3℃ ±0.3℃ ±0.3℃
          真空泵抽氣量 75m3/h 130m3/h 250m3/h
          負(fù)壓壓頭 70KPA 70KPA 70KPA
          泵浦配置 1+1冗余 1+1冗余 1+1冗余
          接口尺寸 Rc1 Rc1 1/4 Rc2
          二次側(cè)
          (冷卻側(cè))
          冷卻介質(zhì) PCW PCW PCW
          冷卻流量 2.5m3/h 6m3/h 15m3/h
          過(guò)濾精度 50um 50um 50um
          接口尺寸 Rc3/4 Rc1 Rc2

           

           

           

           

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