Chiller換熱型 系統(tǒng)無壓縮機
原理:CHILLER 是通過換熱器,將廠務(wù)水與載冷介質(zhì)進行換熱,循環(huán)泵驅(qū)動載冷介質(zhì)循環(huán),并且同時實現(xiàn)精準控溫功能,適用于光刻機、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機等領(lǐng)域加熱冷卻。
核心技術(shù)與優(yōu)勢:
1.加熱冷卻一體化設(shè)備:設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單,應(yīng)用換熱器即可實現(xiàn)連續(xù)升降溫,5-90℃溫度范圍快速加熱冷卻。
2.精準控溫:采用PID算法或PLC控制,實現(xiàn)溫度波動≤±0.05℃,適用于精密制造場景。
3.多場景適配:支持純水、乙二醇、導(dǎo)熱油等不同介質(zhì)使用。
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