17851209193
          			
			
			
          
		
          
		
		
	
          
	
          
		
          
			
			 
     

          
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	   FLTZ-U超純水溫控Chiller 
	
	
          
	
          
		
          
       
          FLTZ-U超純水溫控Chiller
          
	   
	  

          	
		
          應(yīng)用： Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷；同時(shí)，載冷劑（介質(zhì)）在獨(dú)立的循環(huán)管路中流動(dòng)，通過板換換熱器將冷量持續(xù)輸送給目標(biāo)設(shè)備，并循環(huán)使用。
          
	
          
	
          

          	


            

          

	
          產(chǎn)品介紹產(chǎn)品參數(shù)
          

          

          

           
          

          適用范圍
          

          

          

          

          

          

          

          

          

          該chiller可替代氟利昂清洗，廣泛適用于半導(dǎo)體晶圓、光伏電池、液晶面板及鋰電池生產(chǎn)中的溫純水精密清洗。
          

          

          

          

          

          


          
CHILLER超純水溫控系列

          

          
型號
FLTZ-U-003W
FLTZ-U-D001W
FLTZ-U-D002W
FLTZ-U-D003W

          

          
通道類型
1-loop?independent
2-loop?independent
2-loop?independent
2-loop?independent

          

          
性能參數(shù)
通道型號
CH1
CH1
CH2
CH1
CH2
CH1
CH2

          

          
循環(huán)方式
沖洗型
循環(huán)型
循環(huán)型
循環(huán)型
沖洗型
循環(huán)型
沖洗型

          

          
溫度范圍
15~40℃
15~40℃
15~40℃
15~40℃
15~40℃
15~40℃
15~40℃

          

          
溫度控制精度
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃

          

          
冷卻能力
9.4kW@20℃
0.6kW@20℃
0.6kW@20℃
1.5kW@20℃
6.3kW@20℃
3kW@20℃
6.2kW@20℃

          

          
加熱能力
10kW
0.6kW
2kW
1.5kW
12.5kW
3kW
12.5kW

          

          
循環(huán)液類型/電阻率
DI?WATER@10~18MΩ·cm
DI?WATER@10~18MΩ·cm
DI?WATER@10~18MΩ·cm
DI?WATER@10~18MΩ·cm

          

          
循環(huán)液流量壓力
45LPM@0.4MPa
6LPM@0.45MPa
10LPM@0.43MPa
15LPM@0.45MPa
25LPM@0.43MPa
18LPM@0.45MPa
30LPM@0.43MPa

          

          
循環(huán)液接口
Rc3/4
Rc3/8
Rc3/8
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4

          

          
PCW溫度
18~22℃
18~22℃
18~22℃
18~22℃
18~22℃
18~22℃
18~22℃

          

          
PCW流量
2m3/h
1.3m3/h
1.3m3/h
2m3/h
2m3/h
3.8m3/h
3.8m3/h

          

          
PCW壓力
2~6bar
2~6bar
2~6bar
2~6bar
2~6bar
2~6bar
2~6bar

          

          
PCW接口
Rc3/4
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc3/4

          

          
安全裝置
過載保護(hù)功能
壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過載保護(hù)。

          

          
電源保護(hù)功能
電源過電流、過欠壓、缺相等保護(hù)

          

          
液位保護(hù)
低流量、低液位等保護(hù)

          

          
安全聯(lián)鎖裝置
EMO+INTERLOCK

          

          
上鎖掛牌裝置
LOTO裝置

          

          
漏液檢測裝置
設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON

          

          
通訊類型
支持多種通訊協(xié)議
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。

          

          
安裝環(huán)境
環(huán)境溫度
10~40℃

          

          
環(huán)境濕度
30~70%RH

          

          
電源
220VAC±10%，三相(可定制)

          

          
外形尺寸cm
45*90*150
43*90*150
45*120*150
65*115*170

          
          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。
          

          2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊有更新恕不另行通知，請以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。
          

          3.如需特殊?標(biāo)品定制，請與我司聯(lián)系。
          

          4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar。
          

           
          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          


          
CHILLER超純水溫控系列

          

          
型號
FLTZ-U-003W
FLTZ-U-D001W
FLTZ-U-D002W
FLTZ-U-D003W

          

          
通道類型
1-loop?independent
2-loop?independent
2-loop?independent
2-loop?independent

          

          
性能參數(shù)
通道型號
CH1
CH1
CH2
CH1
CH2
CH1
CH2

          

          
循環(huán)方式
沖洗型
循環(huán)型
循環(huán)型
循環(huán)型
沖洗型
循環(huán)型
沖洗型

          

          
溫度范圍
15~40℃
15~40℃
15~40℃
15~40℃
15~40℃
15~40℃
15~40℃

          

          
溫度控制精度
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃
±0.1℃

          

          
冷卻能力
9.4kW@20℃
0.6kW@20℃
0.6kW@20℃
1.5kW@20℃
6.3kW@20℃
3kW@20℃
6.2kW@20℃

          

          
加熱能力
10kW
0.6kW
2kW
1.5kW
12.5kW
3kW
12.5kW

          

          
循環(huán)液類型/電阻率
DI?WATER@10~18MΩ·cm
DI?WATER@10~18MΩ·cm
DI?WATER@10~18MΩ·cm
DI?WATER@10~18MΩ·cm

          

          
循環(huán)液流量壓力
45LPM@0.4MPa
6LPM@0.45MPa
10LPM@0.43MPa
15LPM@0.45MPa
25LPM@0.43MPa
18LPM@0.45MPa
30LPM@0.43MPa

          

          
循環(huán)液接口
Rc3/4
Rc3/8
Rc3/8
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4

          

          
PCW溫度
18~22℃
18~22℃
18~22℃
18~22℃
18~22℃
18~22℃
18~22℃

          

          
PCW流量
2m3/h
1.3m3/h
1.3m3/h
2m3/h
2m3/h
3.8m3/h
3.8m3/h

          

          
PCW壓力
2~6bar
2~6bar
2~6bar
2~6bar
2~6bar
2~6bar
2~6bar

          

          
PCW接口
Rc3/4
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc3/4

          

          
安全裝置
過載保護(hù)功能
壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過載保護(hù)。

          

          
電源保護(hù)功能
電源過電流、過欠壓、缺相等保護(hù)

          

          
液位保護(hù)
低流量、低液位等保護(hù)

          

          
安全聯(lián)鎖裝置
EMO+INTERLOCK

          

          
上鎖掛牌裝置
LOTO裝置

          

          
漏液檢測裝置
設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON

          

          
通訊類型
支持多種通訊協(xié)議
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。

          

          
安裝環(huán)境
環(huán)境溫度
10~40℃

          

          
環(huán)境濕度
30~70%RH

          

          
電源
220VAC±10%，三相(可定制)

          

          
外形尺寸cm
45*90*150
43*90*150
45*120*150
65*115*170

          
          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。
          

          2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊有更新恕不另行通知，請以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。
          

          3.如需特殊?標(biāo)品定制，請與我司聯(lián)系。
          

          4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar。
          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

          

           
          

          	
	
		
	
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