無錫冠亞智能裝備有限公司
Chiller低溫復(fù)疊制冷系列
半導(dǎo)體溫控裝置
主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制40°C以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱濃
循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動(dòng)泵淡
氨檢測，安規(guī)檢測，確保系統(tǒng)安全可靠興
經(jīng)過24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)
| 型號(hào) | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 溫度范圍 | ?-80℃～+90℃ | ||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | ||||
| 流量/壓力 MAX | 7～25L/min? 5bar | 12～45L/min 6bar | |||
| 制冷量at-70℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 加熱功率 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||||
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 1.8m3/H | 2.5m3/H | 3m3/H | 5m3/H | 6m3/H |
| 斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | ||||
| 型號(hào) | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 溫度范圍 | ?-100℃～+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |
| 流量 MAX | 7～25L/min | 12～45L/min |
| 制冷量at-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| 加熱功率 | 3.5kW | 5.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 5L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 15L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| 斷路器 | 32A | 63A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫） | |
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