無(wú)錫冠亞智能裝備有限公司
Chiller 直冷型
半導(dǎo)體行業(yè)廣泛應(yīng)用
適用于半導(dǎo)體晶圓廠的刻蝕、化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積工藝制程，對(duì)ETCH、CVD、PVD制程設(shè)備的反應(yīng)腔體進(jìn)行精確控溫
| 型號(hào) | ZLJ-81 | ZLJ-81.5 | ZLJ-82 | ZLJ-83 | ZLJ-84 | ZLJ-86 | ZLJ-88 |
| ZLJ-81W | ZLJ-81.5W | ZLJ-82W | ZLJ-83W | ZLJ-84W | ZLJ-86W | ZLJ-88W | |
| 溫度范圍 | -80℃～-45℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度 | ||||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||||
| 控制器 | PLC | ||||||
| 顯示記錄 | 7寸觸摸屏，記錄溫度、系統(tǒng)壓力等信息 | ||||||
| 制冷部件 | 丹佛斯干燥過(guò)濾器、壓力傳感器、EBM風(fēng)機(jī)（風(fēng)冷）、丹佛斯/艾默生油分離器、 | ||||||
| 壓縮機(jī) | 思科普、泰康、艾默生、卡萊爾 | ||||||
| 制冷劑 | 第一級(jí)R404A、第二級(jí)R23可選配R508B | ||||||
| 高溫降溫 | 具備高溫150度直接降溫技術(shù)，滿足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時(shí)迅速進(jìn)行降溫能力 | ||||||
| 壓縮機(jī) | 7/8匹*2 | 1.5匹*2 | 2匹*2 | 3匹*2 | 4匹*2 | 6匹*2 | 8匹*2 |
| 電源V | 220V 50HZ | 380V 50HZ | |||||
| 型號(hào) | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| 溫度范圍 | -40℃～-15℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度 | ||||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||||
| 控制器 | PLC | ||||||
| 顯示記錄 | 7寸觸摸屏，記錄溫度、系統(tǒng)壓力等信息 | ||||||
| 制冷部件 | 丹佛斯干燥過(guò)濾器、壓力傳感器、EBM風(fēng)機(jī)（風(fēng)冷）、丹佛斯/艾默生油分離器、 | ||||||
| 壓縮機(jī) | 思科普、泰康、艾默生、卡萊爾 | ||||||
| 制冷劑 | R404A 可選配R507C R448 | ||||||
| 高溫降溫 | 具備高溫150度直接降溫技術(shù)，滿足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時(shí)迅速進(jìn)行降溫能力 | ||||||
| 壓縮機(jī) | 7/8匹 | 1.5匹 | 2匹 | 3匹 | 4匹 | 6匹 | 8匹 |
| 電源V | 220V 50HZ | 380V 50HZ 可定制220V | |||||
上一篇: Chiller 雙變頻
下一篇: 氣體制冷機(jī)（小型）
相關(guān)推薦
